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一种基于光子晶体谐振腔的光学生化探测芯片

971   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:28:25
本发明涉及一种基于光子晶体谐振腔的光学生化探测芯片，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的基体，在所述基体上的单晶硅层中间刻蚀出狭缝槽，并由所述狭缝槽和其两侧的条形硅波导构成狭缝光波导，在所述狭缝光波导的光信号传播路径上刻蚀第一和第二光子晶体镜面，所述光子晶体镜面刻蚀于狭缝光波导两侧的条形硅波导上，第一光子晶体镜面和第二光子晶体镜面相隔一定距离，并在狭缝光波导上形成光子晶体谐振腔。本发明探测芯片利用光子晶体本身的色散补偿效应，在大规模远程分布式探测中实现高性能检测，从而避免了色散等因素对检测性能的干扰。
声明：
“一种基于光子晶体谐振腔的光学生化探测芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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