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一种低辐射镀膜玻璃的光学参数检测方法

666   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:27:33
本发明涉及一种低辐射镀膜玻璃的光学参数检测方法，该低辐射镀膜玻璃为SnO2:F/SiCxOy，0＜x＜1，1＜y＜4，属于镀膜玻璃检测领域。该方法是在获得SnO2:F/SiCxOy节能镀膜玻璃椭圆偏振光谱的基础之上，引入五层膜层结构以及光学色散方程，通过迭代来回归实测椭偏光谱，最终获得SnO2:F/SiCxOy镀膜玻璃的膜层结构及其每一层的光学参数，利用该方法实现镀膜玻璃光学性能的在线实时监控。本发明仅采用光学测试手段来获得准确的膜层结构及光学参数，对样品无损伤、测量耗时少、测试方法简便，对被测样品表面无特殊要求，十分适合于SnO2:F/SiCxOy节能镀膜玻璃的性能检测。
声明：
“一种低辐射镀膜玻璃的光学参数检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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