本发明涉及用于同时检测 Cu2+、 Pb2+、 Cd2+的阵列式薄膜传感器及基 制备方法,以p型或n型Si片作基底,在基底上依次为 SiO2层,对 Cu2+、 Pb2+、 Cd2+敏感的三种薄膜;该薄膜传 感器是通过激光脉冲沉积技术在 SiO2表面上制备三种敏感薄膜, 采用激光沉积技术把三个敏感材料分别制备在 SiO2表面上,最后形成三种阵列 式薄膜传感器。它对溶液中的 Cu2+、 Pb2+、 Cd2+具有选择性,能检测出 Cu2+、 Pb2+、 Cd2+的含量。本发明可在江河湖 泊、生物医学领域(如血液、体液)、工业废水、中药、蔬菜、 水果、茶叶等领域中对Cu2+、 Pb2+、 Cd2+同时进行定性和定量检测。
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