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自动化晶圆测试机台

914   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:27:32
本发明涉及一种自动化晶圆测试机台，用于固定并测试位于晶圆上的芯片。自动化晶圆测试机台包括机台、角度调整机构、晶圆测试定位装置、测试组件及控制器。机台上设置有测试工位。角度调整机构包括旋转组件及平移组件。晶圆测试定位装置安装于角度调整机构背向安装面的表面，角度调整机构可驱动晶圆测试定位装置旋转或平移，以带动芯片移动至测试工位。测试组件用于对位于测试工位的芯片进行性能检测。控制器与角度调整机构及测试组件通讯连接，控制器用于分别向角度调整机构及测试组件发送触发信号，以触发角度调整机构及测试组件。本发明提供的自动化晶圆测试机台具有测试速度快，测试效率高的特点。
声明：
“自动化晶圆测试机台” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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