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基于数字微镜器件衍射效应的微透镜阵列制备与检测装置

702   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:26:16
本发明公开了一种基于数字微镜器件衍射效应的微透镜阵列制备与检测装置，该装置包括紫外LED光源、氦氖激光器光源、DMD器件、扩束器、第一双凸透镜、空间滤波器、第二双凸透镜、第三双凸透镜、双色镜、显微镜物镜、三维电动平台、第四双凸透镜以及CCD相机。该装置能有效地工作在光刻胶曝光和微透镜光学性能检测两个模式；所述的计算机通过信号线分别与紫外LED光源、氦氖激光器光源、DMD器件、三维电动平台、CCD相机相连。本发明既可以实现在光刻微加工中的微透镜阵列制备，也可以实现对微透镜阵列结构的光学性能进行检测。
声明：
“基于数字微镜器件衍射效应的微透镜阵列制备与检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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