一种铁电陶瓷微致冷器及其制备方法。其特征在 于微致冷器采用了“双级复叠”的致冷结构,制备本发明微致 冷器采用具有高电生热效应的弛豫性 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3与 PbTiO3 (PT)(简称PMNT)固溶体 的溶胶-凝胶(Sol-Gel)湿法制备方法,并采用新的物化减薄 方式和电生热性能检测手段。本发明的湿法Sol-Gel制备方 法,可有效抑制后续烧结过程中焦绿石相的形成,解决了现有 技术的干法陶瓷混料过程中混料不均引起成分偏析及引入金 属离子杂质等问题,成瓷条件低于常规PMNT陶瓷制备工艺。 本发明的铁电陶瓷微致冷器重量轻、体积小、无噪声、无污染, 结构简单,可通过施加电场直接致冷,无需使用致冷剂;致冷 启动快,致冷效率高,尤其适用于微尺度器件的小功率致冷。
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