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界面结合强度的准静态激光划痕测量方法及装置

830   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:25:57
本发明涉及激光检测与材料性能检测技术领域,其利用连续加载的长脉冲激光准静态加载涂层或薄膜试件表面,利用激光的热作用对薄膜表面薄层(仅几十nm厚)的加热,以及随后的热量热传导,在试件中形成温度场,由于薄膜-基体材料的热膨胀系数和温度的差异,当涂层中形成的热应力达到一定值时,材料产生脱粘,进一步发生材料翘曲和剥落,同时,进给系统使试件作进给运动,从而在涂层表面形成划痕。用薄膜-基体界面处剥落所对应的激光能量可表征界面结合强度,用理论分析和数值计算可得薄膜-基体界面的结合强度。适用于各种硬质工具膜、装饰膜系、装饰功能膜、DLC薄膜、复合材料以及其它类型的界面结合强度的测定。
声明：
“界面结合强度的准静态激光划痕测量方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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