本发明公开了一种CrB
2涂层的制备方法。采用直流磁控溅射法,设计靶源磁场由位于靶面底部的环形磁铁与直线型磁铁组成,通过对靶源磁场的设计,使靶面不同位置具有不同的磁场强度,并对应的放置一系列样品,在各样品表面沉积CrB
2涂层,然后对各涂层进行性能检测,得到与所需CrB
2涂层性能最接近的CrB
2样品涂层,该样品在样品架上的放置位置即为待沉积基体的放置位置,从而实现所需性能涂层的制备。
声明:
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