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探针的研磨方法和研磨部件

622   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:25:56
本发明提供一种探针的研磨方法和研磨部件,使得即使随着探针板的大型化,探针增加,探针的排列区域超出研磨部件范围,使用该研磨部件,也能确实地研磨探针,并能提高检测的处理能力。本发明的探针的研磨方法,使用研磨片(10)研磨实施晶片电性能检测的排列在探针板(20)上的多枚探针(21),利用载置台(30)使外周缘部具有倾斜面(10A)的研磨片(10)移动,分多次研磨探针区域(21)。
声明：
“探针的研磨方法和研磨部件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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