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一种探针卡、检测装置以及晶圆检测方法

714   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:25:55
本发明提供一种探针卡、检测装置以及晶圆检测方法，其中，探针卡包括：电路板，所述电路板具有一孔洞，具有导电图案；图像接收组件，设置于所述电路板的第一面；探针组件，设置于所述电路板的第二面；光学整形元件，设置于所述图像接收组件的一侧；通过探针卡的探针组件电接触晶圆上的光源芯片实现对光源芯片的电导通，通过图像接组件以及光学整形元件可以实现对光源芯片的光学性能检测，本发明可以在晶圆级上实现光源芯片的检测以及质量筛选，且可以同时实现对光源芯片进行光学性能检测以及电学性能检测，提高了检测效率降低了生产成本。
声明：
“一种探针卡、检测装置以及晶圆检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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