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衍射光学元件的性能检测系统

909   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 06:25:11
本申请提供了一种衍射光学元件的性能检测系统,该系统包括:光发射器件,光发射器件用于发射预定光至衍射光学元件中;接收设备,包括接收屏,接收屏位于光发射器件的一侧,预定光经过衍射光学元件衍射后在接收屏上形成多个光斑点;图像处理装置,位于接收屏的远离光发射器件的一侧,图像处理装置用于获取接收屏上的多个光斑点的图像,并根据图像计算衍射光学元件的衍射效率、衍射均匀性以及视场角中的至少一个。该系统根据获取的图像计算衍射光学元件的至少一项性能参数,从而实现对衍射光学元件的性能的检测。
声明:
“衍射光学元件的性能检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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