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一种光波导微透镜阵列的制备及光学性能检测方法

975   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:25:11
一种光波导微透镜阵列的制备及光学性能检测方法，先制备光刻胶微透镜阵列，将聚二甲基硅氧烷与固化剂混合倒入光刻胶微透镜阵列，固化剥离后得到凹透镜阵列反模具；然后将凹透镜阵列反模具覆于加热的SU‑8表面并快速压印，冷却剥离后得到SU‑8微透镜阵列；再用紫外光直接照射SU‑8微透镜阵列，制得光波导微透镜阵列；然后在荧光观察状态下，在激光共聚焦显微镜中选择荧光染料，设置扫描深度和扫描步长得到光波导微透镜阵列的光路传输三维荧光图像，通过分析聚焦光斑的分布面积，判断是否在SU‑8微透镜阵列内诱导出了光波导结构；最后对光波导微透镜阵列进行光学性能评估：本发明实现光波导微透镜阵列的制备，并对光波导微透镜阵列光学性能提供检测与评估。
声明：
“一种光波导微透镜阵列的制备及光学性能检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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