本发明涉及半导体检测技术领域,且公开了一种
半导体材料中绝缘层绝缘性能检测且修补的设备,包括绝缘层检测装置主体,所述导液管的底部固定安装有油缸,所述油缸的内部活动安装有浮板,所述导液管的内部固定安装有阀门,所述阀门的内部滑动连接有阀块,所述阀块的底部固定连接有电磁铁,所述导液管的底部固定安装有喷嘴。通过电磁铁获得电力供应之后,将会被底部工作台内部的磁体所吸引,当绝缘层破损后,磁体将会吸引着电磁铁在油缸内部竖直向下滑动,带动阀块在阀门内部竖直向下移动,阀门导通将油缸上方的修补溶液滴落到绝缘层表面,对绝缘层破损处进行修补,达到了检测绝缘层绝缘性能且对绝缘不佳区域进行修补的效果。
声明:
“一种半导体材料中绝缘层绝缘性能检测且修补的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)