合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 物理检测技术

> 一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法

一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法

931   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:25:08
本发明公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法。本发明提供了一种能够准确测量静电卡盘静电吸附力、晶圆脱附时间和晶圆表面温度等技术指标的装置和方法；其中，装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测量装置、静电卡盘、真空腔室、真空获得装置和数据采集系统组成；所述驱动装置输出直线力，克服晶圆与静电卡盘之间的静摩擦力拉动晶圆，利用摩擦学原理换算得到静电力大小和晶圆脱附时间；通过红外测温仪实时采集和读取晶圆表面温度。本发明实现了上述三种检测功能的有效集成，适应性广，可用于等离子体环境中，能有效保证真空腔室的密封性。操作方便，不会造成晶圆变形和破损，测量精度高。
声明：
“一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
物理检测
上一个：一种网络性能检测方法、装置和计算机可读存储介质
下一个：一种热管的性能检测系统

与 “一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法” 相关技术

▪ 钨冶炼硫酸钠废水资源化处理的方法
▪ 铝酸钙精炼渣的制备方法及其应用
▪ 铝业冶炼用碳足迹测算装置及方法
▪ 石墨化阴极及制备方法、铝电解槽、铝电解方法
▪ 富锂电解质提锂废渣回收利用的方法
▪ 快速熔炼中频炉
▪ 真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪ 功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪ 低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪ 地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法

相关物理检测设备推荐

建大仁科管式土壤墒情监测仪
化肥质量快速检测仪
超声点焊探伤仪
土壤水分温度监测系统 土壤监测仪
DJ-YF01土壤养分速测仪 土壤测试仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钨冶炼硫酸钠废水资源化处理的方法
▪铝酸钙精炼渣的制备方法及其应用
▪铝业冶炼用碳足迹测算装置及方法
▪石墨化阴极及制备方法、铝电解槽、铝电解方法
▪富锂电解质提锂废渣回收利用的方法
▪快速熔炼中频炉
▪真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法

报名参会
更多+

2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:123
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:98
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
10 制样室装修设计技巧
下载:83
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记