合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 物理检测技术

> 一种静电卡盘基本性能检测装置

一种静电卡盘基本性能检测装置

669   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:23:56
本实用新型公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置。所述装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测量装置、静电卡盘、真空腔室、真空获得装置和数据采集系统组成。本装置实现了静电力大小测量、晶圆脱附时间测量和晶圆表面温度测量三项功能的综合集成；原理简单、结构紧凑，可有效节省空间；适应性广，可用于等离子体环境中，能有效保证真空腔室的密封性；操作方便，不会造成晶圆变形和破损，测量精度高。
声明：
“一种静电卡盘基本性能检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
物理检测
上一个：断路器灭弧性能检测装置
下一个：一种阻水电缆阻水性能检测设备

与 “一种静电卡盘基本性能检测装置” 相关技术

▪ 稀土生产无氨化工艺研究
▪ 基于菱镁矿制备纳米氢氧化镁研究
▪ 新型无铬钝化剂
▪ 能源矿产高效干法分选关键技术
▪ 高性能大型振动筛关键技术及其应用
▪ 具有滑动套环支撑机构的立式低温储罐
▪ 振动筛清理结构
▪ 高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用
▪ 大型布袋除尘器内气固两相流均布方法及装置
▪ 无动力自离散旋转加料反应器

相关物理检测设备推荐

分层土壤墒情监测仪
D?LX 101-30 IG DURAG火焰检测器
CEMS烟尘烟气在线监测系统
钻孔瓦斯涌出初速度测定仪
电池内部短路综合试验台
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪稀土生产无氨化工艺研究
▪基于菱镁矿制备纳米氢氧化镁研究
▪新型无铬钝化剂
▪能源矿产高效干法分选关键技术
▪高性能大型振动筛关键技术及其应用
▪具有滑动套环支撑机构的立式低温储罐
▪振动筛清理结构
▪高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用
▪大型布袋除尘器内气固两相流均布方法及装置
▪无动力自离散旋转加料反应器

报名参会
更多+

2024先进金属材料成形与加工技术交流会
2024先进金属材料成形与加工技术交流会
2024年06月28日 ~ 30日
2024煤焦化产业技术创新与环境保护论坛
2024煤焦化产业技术创新与环境保护论坛
2024年06月28日 ~ 30日
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
2024年07月19日 ~ 21日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月08日 ~ 10日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
8 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2防爆阀保护膜
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记