本发明提供一种电热性能检测系统与检测方法,所述系统包括信号发生器、高压放大器、变温台、热探针、原子力显微镜主控器、探针信号控制器和信号采集与处理器。所述方法包括以下步骤:通过变温台对热探针进行标定;高压放大器提供电压对待测样品进行电热激励;热探针感知待测样品的温度变化,并以电信号输出;探针信号控制器对热探针输出的电信号进行检测,并由信号采集与处理器进行采集;信号采集与处理器根据采集到的电信号和标定数据得到待测样品的温度变化情况,再结合待测样品上施加的电压,获得其电热性能参数。本发明能对材料微观和宏观电热性能进行直接测量,且准确度高,适用性广。
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