本发明公开了一种光电器件的电容性能检测方法,该方法包括:确定测试电压,所述测试电压用于测试光电器件的电容性能,所述测试电压为从起始电压开始,连续上升至终止电压,随即所述测试电压从所述终止电压开始,连续下降至起始电压结束,所述测试电压上升的速率和下降的速率相同;将所述测试电压加载至光电器件的两端,根据测试电流和测试电压的变化关系确定所述光电器件的电容性能,所述测试电流为在所述测试电压连续变化的过程中所述光电器件上流过的电流,所述光电器件置于没有光照的环境中。本发明通过测试电压连续变化,并且通过改变测试电压的上升或下降速率,准确反映了光电器件的电容性能。
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