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浅沟槽隔离结构平坦化性能检测方法

846   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:16:37
一种浅沟槽隔离结构平坦化性能检测方法,包括:提供形成浅沟槽隔离结构的晶圆,所述浅沟槽隔离结构的隔离氧化层进行过平坦化处理;在所述晶圆上制作集成电路;对所述晶圆进行晶圆可接受性测试;根据可接受性测试数据判断浅沟槽隔离结构平坦化性能;选出浅沟槽隔离结构平坦化性能不合格的晶圆。所述检测方法可以及早发现不合格的晶圆,并可以及时改进浅沟槽隔离结构平坦化工艺,而且,在晶圆进入测试工艺提前进行电性能测试,挑选出不合格产品,提高了出厂的晶圆的良率。
声明：
“浅沟槽隔离结构平坦化性能检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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