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物理检测样品制取方法

1029   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 06:14:10
本发明提供一种物理检测样品制取方法,包括:提供一晶圆截块,所述晶圆截块包括:依次生长的第一物理层、第二物理层和第三物理层,所述第二物理层与所述第一物理层相接触的表面为待观测面;剥离所述第一物理层,以暴露所述待观测面,从而形成物理检测样品。由此制得的物理检测样品,其待观测面位是暴露出来的,即待观测面不受任何物理层的阻挡,利用扫描电镜观测所述物理检测样品时,能够很清楚的观测待观测面,由此提高了物理检测的可靠性。
声明:
“物理检测样品制取方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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