金相显微镜观察半导体用载样台

468 编辑：中冶有色技术网来源：上海蔡康光学仪器有限公司

2024-05-06 08:54:53

权利要求书： 1.一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括基座(1)，所述基座(1)的表面固定连接有连接架(2)，所述连接架(2)的表面固定连接有观察台(3)和载片台(4)，其特征在于：所述载片台(4)的内部设置有固定机构(5)，所述固定机构(5)用于固定载玻片的位置；

所述固定机构(5)中包含有固定块(51)，所述载片台(4)的内部固定连接有转动块(52)，所述转动块(52)的表面开设有转动槽(53)，所述载片台(4)的内部通过块与槽滑动连接有固定轴(54)，所述固定轴(54)的表面固定连接有固定柱(55)，所述转动块(52)的表面固定连接有操作块(56)，所述操作块(56)的表面开设有操作槽(57)，所述操作块(56)的表面通过操作槽(57)滑动连接有操作杆(58)，所述操作杆(58)的表面固定连接有操作轴(59)，所述载片台(4)的内部开设有限位槽(510)，所述固定块(51)的内部设置有伸缩机构(6)，所述伸缩机构(6)用于调整固定位置的中心。

2.根据权利要求1所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述伸缩机构(6)中包含有滑动槽(61)，所述固定块(51)的内部滑动连接有伸缩块(62)。

3.根据权利要求2所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述固定块(51)和伸缩块(62)的内部固定连接有转动柱(63)，所述固定块(51)的内部通过转动柱(63)转动连接有连接块(64)。

4.根据权利要求3所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述连接块(64)的表面固定连接有连接轴(65)，所述连接块(64)的表面通过连接轴(65)转动连接有转角杆(66)。

5.根据权利要求4所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述转角杆(66)的一端转动连接有滑动轴(67)，所述滑动轴(67)的表面与滑动槽(61)的内表面滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种金相显微镜观察半导体用载样台，其特征在于：所述转角杆(66)的一端与滑动轴(67)的表面转动连接。

说明书：一种金相显微镜观察半导体用载样台技术领域[0001] 本实用新型涉及显微镜技术领域，具体为一种金相显微镜观察半导体用载样台。背景技术[0002] 目前实验室会用金相显微镜观察半导体晶圆芯片或分立器件的表/截面，通过表/截面形貌的观察与量测，了解产品构造或封装水平，以此为更好产品的生产提供数据支持，现有的金相显微镜观察半导体用载样台在进行观察时对载玻片的固定采用的是转动的固定架固定，固定过程中载玻片可能偏移显微镜物镜的中心位置，观察时需要再次调整载玻片的位置，便于更好的寻找最佳的观看位置，了解导体的性质，需要进行多次调整且观察过程中遇撞击产生偏移，影响观察结果，为此，本实用新型提供了一种金相显微镜观察半导体用载样台。实用新型内容

[0003] 针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种金相显微镜观察半导体用载样台，解决了显微镜不能很好的固定载玻片的位置，固定过程中载玻片会产生偏移影响半导体的观察的问题。[0004] 为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括基座，所述基座的表面固定连接有连接架，所述连接架的表面固定连接有观察台和载片台，所述载片台的内部设置有固定机构，所述固定机构用于固定载玻片的位置，所述固定机构中包含有固定块，所述载片台的内部固定连接有转动块，所述转动块的表面开设有转动槽，所述载片台的内部通过块与槽滑动连接有固定轴，所述固定轴的表面固定连接有固定柱，所述转动块的表面固定连接有操作块，所述操作块的表面开设有操作槽，所述操作块的表面通过操作槽滑动连接有操作杆，所述操作杆的表面固定连接有操作轴，所述载片台的内部开设有限位槽，所述固定块的内部设置有伸缩机构，所述伸缩机构用于调整固定位置的中心。[0005] 优选的，所述伸缩机构中包含有滑动槽，所述固定块的内部滑动连接有伸缩块。[0006] 优选的，所述固定块和伸缩块的内部固定连接有转动柱，所述固定块的内部通过转动柱转动连接有连接块。[0007] 优选的，所述连接块的表面固定连接有连接轴，所述连接块的表面通过连接轴转动连接有转角杆。[0008] 优选的，所述转角杆的一端转动连接有滑动轴，所述滑动轴的表面与滑动槽的内表面滑动连接。[0009] 优选的，所述转角杆的一端与滑动轴的表面转动连接。[0010] 有益效果[0011] 本实用新型提供了一种金相显微镜观察半导体用载样台。与现有技术相比具备以下有益效果：[0012] (1)、该金相显微镜观察半导体用载样台，通过在载片台的内部设置固定机构，通过转动块和转动槽的位置的改变使固定块之间的相对位置被改变，转动块使用透光材料制作，便于观察，固定块的位置会根据转动块的改变进行同步改变，便于载玻片的中心位置与物镜的中心相对于，便于观察载玻片内部的半导体样本，同时采用固定载玻片四面的方式固定载玻片的位置，促使各方面的力难以改变载玻片的位置，使载玻片偏移，观察过程中不会使观察的视角被改变，便于细致观察。[0013] (2)、该金相显微镜观察半导体用载样台，通过在固定块的内部设置伸缩机构，在固定块的表面开设滑动槽，促使滑动轴可以在一定的轨迹上进行滑动，滑动轴的滑动通过连接块和转角杆之间的角度的改变促使伸缩块的位置发生改变，滑动轴的位置被限制，进而限制伸缩块的移动方向，伸缩块的位置可以改变，可以根据载玻片的厚度改变伸缩块的高度，更准确稳定的固定载玻片的位置，使载玻片的位置难以改变。附图说明[0014] 图1为本实用新型的结构正视图；[0015] 图2为本实用新型的载片台的结构俯视图；[0016] 图3为本实用新型的图2中A处的局部放大图；[0017] 图4为本实用新型的伸缩块的结构正视图。[0018] 图中：1?基座、2?连接架、3?观察台、4?载片台、5?固定机构、51?固定块、52?转动块、53?转动槽、54?固定轴、55?固定柱、56?操作块、57?操作槽、58?操作杆、59?操作轴、510?限位槽、6?伸缩机构、61?滑动槽、62?伸缩块、63?转动柱、64?连接块、65?连接轴、66?转角杆、67?滑动轴。具体实施方式[0019] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0020] 请参阅图1?4，本实用新型提供两种技术方案：[0021] 实施例一[0022] 一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括基座1，基座1的表面固定连接有连接架2，连接架2的表面固定连接有观察台3和载片台4，载片台4的内部设置有固定机构5，固定机构5用于固定载玻片的位置，固定机构5中包含有固定块51，载片台4的内部固定连接有转动块52，转动块52和载片台4由透光材料制作而成，转动块52的表面开设有转动槽53，载片台4的内部通过块与槽滑动连接有固定轴54，固定块51的表面与固定轴54的表面固定连接，固定轴54的表面固定连接有固定柱55，固定柱55的表面与转动槽53的内表面滑动连接，转动块52的表面固定连接有操作块56，操作块56的表面开设有操作槽57，操作块56的表面通过操作槽57滑动连接有操作杆58，操作杆58的表面固定连接有操作轴59，操作轴59的表面与操作槽57的内表面滑动连接，载片台4的内部开设有限位槽510，固定块51的内部设置有伸缩机构6，伸缩机构6用于调整固定位置的中心，在载片台4的内部设置固定机构5，通过转动块52和转动槽53的位置的改变使固定块51之间的相对位置被改变，转动块52使用透光材料制作，便于观察，固定块51的位置会根据转动块52的改变进行同步改变，便于载玻片的中心位置与物镜的中心相对于，便于观察载玻片内部的半导体样本，同时采用固定载玻片四面的方式固定载玻片的位置，促使各方面的力难以改变载玻片的位置，使载玻片偏移，观察过程中不会使观察的视角被改变，便于细致观察。[0023] 实施例二[0024] 一种金相显微镜观察半导体用载样台，包括基座1，基座1的表面固定连接有连接架2，连接架2的表面固定连接有观察台3和载片台4，载片台4的内部设置有固定机构5，固定机构5用于固定载玻片的位置，固定机构5中包含有固定块51，载片台4的内部固定连接有转动块52，转动块52和载片台4由透光材料制作而成，转动块52的表面开设有转动槽53，载片台4的内部通过块与槽滑动连接有固定轴54，固定块51的表面与固定轴54的表面固定连接，固定轴54的表面固定连接有固定柱55，固定柱55的表面与转动槽53的内表面滑动连接，转动块52的表面固定连接有操作块56，操作块56的表面开设有操作槽57，操作块56的表面通过操作槽57滑动连接有操作杆58，操作杆58的表面固定连接有操作轴59，操作轴59的表面与操作槽57的内表面滑动连接，载片台4的内部开设有限位槽510，固定块51的内部设置有伸缩机构6，伸缩机构6用于调整固定位置的中心，在载片台4的内部设置固定机构5，通过转动块52和转动槽53的位置的改变使固定块51之间的相对位置被改变，转动块52使用透光材料制作，便于观察，固定块51的位置会根据转动块52的改变进行同步改变，便于载玻片的中心位置与物镜的中心相对于，便于观察载玻片内部的半导体样本，同时采用固定载玻片四面的方式固定载玻片的位置，促使各方面的力难以改变载玻片的位置，使载玻片偏移，观察过程中不会使观察的视角被改变，便于细致观察，伸缩机构6中包含有滑动槽61，固定块51的内部滑动连接有伸缩块62，固定块51和伸缩块62的内部固定连接有转动柱63，固定块51的内部通过转动柱63转动连接有连接块64，连接块64的表面固定连接有连接轴65，连接块64的表面通过连接轴65转动连接有转角杆66，转角杆66的一端转动连接有滑动轴67，滑动轴67的表面与滑动槽61的内表面滑动连接，转角杆66的一端与滑动轴67的表面转动连接，在固定块51的内部设置伸缩机构6，在固定块51的表面开设滑动槽61，促使滑动轴67可以在一定的轨迹上进行滑动，滑动轴67的滑动通过连接块64和转角杆66之间的角度的改变促使伸缩块62的位置发生改变，滑动轴67的位置被限制，进而限制伸缩块62的移动方向，伸缩块

62的位置可以改变，可以根据载玻片的厚度改变伸缩块62的高度，更准确稳定的固定载玻片的位置，使载玻片的位置难以改变。

[0025] 同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。[0026] 使用时，首先在载片台4的中心位置放置载玻片，拉动滑动轴67，使滑动轴67在滑动槽61的内表面滑动，滑动轴67的滑动带动连接轴65和转角杆66旋转，带动伸缩块62滑动，改变可以固定的物品的高度，然后向载片台4的中心位置按动操作杆58，操作杆58的滑动通过操作轴59带动操作块56在操作槽57的内表面滑动，此时滑动操作块56，操作块56的滑动带动转动块52转动，转动的转动块52带动转动槽53的相对位置发生改变，转动槽53的移动带动固定柱55移动，固定柱55的移动带动固定轴54发生移动，进而带动固定块51之间的相对距离发生变化，固定块51固定载玻片后，拉动操作杆58，使操作杆58带动操作块56恢复原状，限制转动块52的再次旋转，避免转动块52受到力的作用旋转导致载玻片的位置产生偏移，此时，载玻片的位置被固定，不会轻易偏移，便于后续的载玻片观察。[0027] 需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。[0028] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。