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上海有色金属化学分析技术理论与应用

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可降解生物医用镁合金/钙磷涂层复合材料的制备方法

本发明涉及一种可降解生物医药镁合金/钙磷涂层复合材料的制备方法,具体为:将镁合金切割成大小适中的试样,依次用800#、2000#氧化铝耐水砂纸打磨以去除镁合金表面氧化层,依次用去离子水和无水乙醇超声清洗5~30min,并于室温下干燥,备用;转化液的配置:采用的转化液由二水磷酸二氢钠及四水硝酸钙配制而成,控制钙磷摩尔比为1∶1~2∶1,Ca2+浓度为0.01~0.2M,P5+浓度为0.01~0.2M;将预处理得到的基体试样置于转化液中浸泡5h~100h后,得到钙磷涂层;性能检测。本发明先对镁合金基体进行超声预处理,使得钙磷涂层与基体表面有更好的结合性;本发明使用的转化液的钙磷摩尔比为1~2,且钙和磷的浓度均高于普通的仿生溶液,可以明显提高化学转化的效率,且钙磷产物更接近于人骨成分。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
超细铂粉的制备方法
超细铂粉的制备方法 835     
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本发明公开了一种超细铂粉的制备方法,包括:常温下将氯配铂盐溶于去离子水中,得到澄清的含铂溶液待用;另在常温下将硝酸银溶于去离子水中,得到澄清的硝酸银溶液待用;搅拌条件下将含铂溶液加热至一定温度后,按化学计量滴加硝酸银溶液,反应后检测无游离Ag+、Cl‑后,过滤生成的氯化银沉淀,收集含铂溶液;将收集得到的含铂溶液转移至容器中,加入还原剂,搅拌均匀后,加热反应,体系中生成黑色沉淀,过滤收集得到的沉淀物,用去离子水多次洗涤,真空干燥,得到超细铂粉,粒径范围0.5μm~1.0μm。本发明不需要严格的pH值、温度、反应物浓度等工艺条件控制,也无需加入高分子分散剂,易于实现超细铂粉的产业化生产。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
绿色环保消毒液及其制造方法

本发明公开了一种绿色环保消毒液及其制造方法,其原料按重量比份包括:2,2‑二甲基‑N,N‑二氯牛磺酸5‑10份、天然植物提取液10‑20份、2,2‑二烷基‑N,N‑二氯牛磺酸5‑10份、植物杀菌精油5‑10份、冰醋酸3‑5份、2,2‑R‑N,N‑二氯牛磺酸5‑10份、甲基纤维素3‑5份、过氧化氢3‑5份、檀香3‑5份、柠檬酸钠3‑5份、杀菌填料3‑5份、花青素3‑5份和超电解水3‑5份,本发明涉及养殖舍消毒液技术领域。该绿色环保消毒液可用于替代养殖舍内现用的消毒液进行间歇性喷雾,特别是在养殖舍内臭气浓度较高时,效果显著,具有超强的消毒抗菌和除臭能力,没有化学制剂的刺激味、不过敏、不腐蚀,通过各种安全性试验和抗菌力检测。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
硅片基硫化铋纳米花阵列的半导体光电材料的制备方法和应用

本发明属于化工材料技术领域,具体为一种硅片基硫化铋纳米花阵列的制备方法和应用。本发明方法包括:通过简单的水热法即可在硅片基底上进行硫化铋纳米花阵列的组装,经过充分和烘干处理得到硅片基硫化铋阵列结构。硅片上生长的硫化铋纳米花晶体,形貌均一,尺寸约为800nm,化学式为Bi2S3,本发明工艺简便、具有普适性,可以制备其他硫化物。制得的硫化铋纳米花阵列,在光电检测器和场发射等领域具有巨大的应用前景。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
适用于薰衣草的流式细胞术样品的制备方法及细胞裂解缓冲液

本发明公开了一种适用于薰衣草的流式细胞术样品的制备方法及细胞裂解缓冲液,涉及流式细胞术检测领域。本发明公开的适用于薰衣草的流式细胞术样品的制备方法,包括裂解步骤:将薰衣草组织样品进行裂解处理、过滤处理、离心处理,得到待染色的细胞核;染色步骤:对所述待染色的细胞核进行染色处理,得到染色的细胞核。该制备方法采用改进的细胞裂解缓冲液处理薰衣草组织样品,其能够去除薰衣草完整的细胞核中残留的细胞质碎片,保持细胞核在悬浮液中的稳定并阻止凝集,保护DNA不被降解,并提供合适的环境用来进行专一的核DNA化学染色,有效地降低胞质成分对染色的负面影响。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多功能的PPR管材及其制备方法

本发明涉及一种多功能的PPR管材,原料质量百分比为:功能母粒为0.1~1%;PPR母粒为余量;制备方法的具体步骤为:原料+色母粒→混合→真空上料→原料干燥→单螺杆挤出机→色线挤出机→螺旋式模具→定径套→喷淋真空定型箱→喷淋冷却水箱→喷码机→履带牵引机→成品检测包装PPR管材规格。本发明具有更好的机械性能、更高的拉伸屈服强度和抗冲性能;PPR管无毒卫生、安装方便、耐化学品性能佳,尤其是它具有良好的热熔接性能。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
功率器件的生产工艺方法

本发明提供一种功率器件的生产工艺方法,包括:检测来料;合格来料通过表面组装和研磨技术制作基层衬底结构;在基层衬底结构上依次铺并形成氧化层;在所述氧化层上生成氮化硅层,以形成目标衬底结构,并铺设光刻层;通过物理CMP和电浆干式蚀刻技术在光刻层依次形成下沉区、场氧化层和栅氧化层;在所述场氧化层上依次形成所述防静电二极管单元的N型基区和所述功率单元的硅栅结构;在形成N型基区后,依次形成体区、漂移区等;在完成上述区域的划分后,通过化学槽清洗的方法除去光刻层;最后通过溅镀的方式完善功率器件的制做。本发明降低了功率器件的制造加工成本;同时通过该方法制造功率器件,废品回收率达到70%以上,高于同行业水平。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
红霉素分子印迹聚合物的制备方法

一种红霉素分子印迹聚合物的制备方法,属于化学工程技术领域。具体为:将模板分子、功能单体甲基丙烯酸和交联剂乙二醇二甲基丙烯酸酯按照摩尔比为1∶2~8∶20溶解到致孔剂中,致孔剂为甲醇和乙腈的混合液,二者的比例为1∶1~2。加入偶氮二异丁腈后;60℃引发聚合。反应时间为24~48小时。反应结束后,将产物磨碎,过筛,得到粒径在38ΜM左右的粒子。将粒子用甲醇醋酸溶液反复洗涤数次除去模板后,真空干燥,得到红霉素分子印迹聚合物。本发明制得的聚合物可应用于环境中或食品中红霉素残留检测及痕量红霉素的富集和基质的清除,在实际中具有很大的应用价值和市场前景。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
氘标记沙丁胺醇及衍生物的合成方法

本发明涉及一种氘标记沙丁胺醇及衍生物的合成方法,采用还原胺化方法,在极性或非极性溶剂中加入底物,使用还原剂还原或催化加氢还原,合成得到氘标记沙丁胺醇及衍生物。与现有技术相比,本发明合成的氘标记沙丁胺醇及其衍生物,产品同位素丰度达99%,化学纯度达99%,可用于食品安全领域违禁兽药的检测和沙丁胺醇药理的研究。

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苯乙醇胺类β受体激动剂的合成方法

本发明公开了一种苯乙醇胺类β受体激动剂的合成方法,包括以下步骤:S1:将4‑氨基苯乙酮溶解在有机溶剂中,与亲电取代试剂发生苯环上的卤代反应,生成卤苯类中间体;卤苯类中间体在有机溶剂或水中,在金属催化剂的催化下与氰化试剂发生亲核取代反应,生成苯乙酮类中间体;S2:苯乙酮类中间体在有机溶剂中,与溴化铜发生羰基α溴代反应生成α‑溴代苯乙酮类中间体;S3:α‑溴代苯乙酮类中间体在有机溶剂中与叔丁胺或异丙胺反应生成苯乙酮胺类中间体;S4:苯乙酮胺类中间体在有机溶剂中,与还原氢化试剂反应生成苯乙醇胺类β受体激动剂;本发明合成方法简单高效且原料廉价易得,原子利用率较高,合成产物化学纯度大于99%,满足食品安全检测需求。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
有机磷化合物传感器及其制备方法

本发明涉及一种有机磷化合物传感器及其制备方法,制备方法为:先通过旋转涂膜法在金叉指电极表面形成氧化剂膜,再以功能化单体为原料,通过化学气相沉积聚合法在其表面形成功能化导电聚合物膜制得有机磷化合物传感器,功能化单体为功能化3,4‑乙烯二氧噻吩功能化苯胺或功能化吡咯其中,R为‑OH、‑COOH或制得的有机磷化合物传感器主要由金叉指电极以及沉积在其表面的功能化导电聚合物膜组成。本发明的一种有机磷化合物传感器的制备方法,简单易行;制得的有机磷化合物传感器可检测10ppb~100ppm的甲基膦酸二甲酯(DMMP),且具有良好的灵敏性、选择性和稳定性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
烟草灭虫设备
烟草灭虫设备 1067     
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本发明提出一种烟草灭虫设备,采用两个高频灭虫工段,第一屏蔽灭虫工段的高频波在可以加热灭除虫卵的频率,第二屏蔽灭虫工段的高频波在可以加热灭除成虫的频率,分频灭虫,对需加热的虫介质的选择更准确,增强了杀灭效果,同时由各段的烟包检测传感器感应后触发高频的发生,减小了高频发生装置的发射功率密度,通过高频波将烟草中的虫害加热杀灭,不会造成化学药物残留,且除虫效果好。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于静电防护区域的静电消除有机凝胶及其制备方法

本发明公开了一种用于静电防护区域的静电消除有机凝胶及其制备方法,所述的用于静电防护区域的静电消除有机凝胶,由如下重量百分比的组分制备的:水50~75%,二甲基硅油1.0~8.0%,聚乙烯醇2.0~8.0%,C1.0~5.0%,聚乙烯吡咯烷酮0.20~0.80%,烷基磺酸钠0.02~0.06%,硬脂酸0.002~0.006%,十六烷基三溴化铵0.023~0.026%,碳酸锶0.01~0.04%,盐酸余量。本发明制备方法容易,成本低廉,检测结果表明,喷涂后快速成型,1min内体积电阻率范围为2.5×104~8.71×104Ω·cm,具有作业现场静电快速消除的作用,不仅可耐200℃的高温,而且化学稳定性好,同时喷涂后能快速整体去除,不污染作业场所及环境。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
羟基磷酸铜-有机金属离子骨架/多壁碳纳米管复合材料及其制备方法和应用

本发明涉及一种羟基磷酸铜‑有机金属离子骨架/多壁碳纳米管复合材料及其制备方法和应用,向醋酸铜水溶液中逐滴加入磷酸,转移至反应釜中加热;冷却,得到混合液B,离心并洗涤、干燥,得到CHP;将CHP与均苯三甲酸、N,N‑二甲基甲酰胺加入去离子水中并搅拌混匀,得到混合溶液C;调整混合溶液C的pH,离心回收沉淀,清洗,干燥,将CHP@Cu3(BTC)2与MWCNTs在有机溶剂中超声分散,得到CHP@Cu3(BTC)2/MWCNTs复合材料。与现有技术相比,本发明在合成过程中保留了相对稳定的内核的性质,其稳定性和吸附性会大大提高,基于该材料构建的电化学传感器有望展现出更优异的检测能力和电催化活性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
岛状纳米多孔金基底的制备方法

本发明公开了一种岛状纳米多孔金基底的制备方法,包括以下步骤:S1、进行准备镀膜的材料,制备纯铬靶材、纯金靶材、金银合金靶材;S2、使用磁控溅射镀膜仪在单晶硅表面依次溅射铬膜、金膜、和金银合金薄膜,得到薄膜前驱体;S3、利用合金成分化学活性差异,采用试剂去除合金中的银素,形成多孔金;S4、取出样品,先用去离子水冲洗数次,以出去样品表面吸附的试剂,然后用氮气吹干,得到岛状纳米多孔金SERS基底;S5、对所述步骤S4中的基底进行拉曼信号的检测。根据本发明,工艺简单成本低,可重复性好,并且制备出的基底表面均匀、时效性优异、SERS性能良好。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
稳定同位素标记的呋喃唑酮代谢物及其合成方法

本发明公开了一种稳定同位素标记的呋喃唑酮代谢物及其合成方法。该合成方法包括以下步骤:S1:稳定同位素标记的2‑溴乙醇与水合肼反应合成稳定同位素标记的2‑肼基乙醇;S2:稳定同位素标记的2‑肼基乙醇与碳酸二甲酯反应合成稳定同位素标记的呋喃唑酮代谢物。本发明首次提供了稳定同位素标记的呋喃唑酮代谢物的合成方法,其稳定同位素标记原料价廉易得,合成过程简单,产品容易分离提纯,得到的产品化学纯度与同位素丰度均达到99%以上,满足作为定量检测呋喃唑酮代谢物的标准试剂的要求;使用价值高、具有良好的经济性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
稳定同位素氘标记α-氨基酸的合成方法

本发明涉及一种稳定同位素氘标记α‑氨基酸的合成方法,以一个或多个氘标记卤代物为标记前体和邻苯二甲酰亚胺丙二酸二甲酯钠盐反应,得到一个或多个氘取代邻苯二甲酰亚胺丙二酸二甲酯,再经水解后得到稳定同位素氘标记α‑氨基酸。与现有技术相比,本发明公开的合成方法简单,安全,可靠,产品经简单分离提纯后,化学纯度达99%以上,同位素丰度在99%以上,可应用于蛋白质代谢示踪、食品安全检测等领域。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
重组融合蛋白衍生物及其制备方法及用途

本发明涉及可诱导共刺激分子的重组融合蛋白衍生物,是对第120位氨基酸进行氨基酸置换后得到的人可诱导共刺激分子或其部分氨基酸片段与功能分子如Ig融合形成的重组蛋白。本发明可采用基因工程方法、化学方法等常规方法按融合、表达、纯化等基本步骤,即可制备该重组融合蛋白衍生物。本发明能特异性地抑制记忆和活化T细胞的功能,对抑制哺乳动物的ICOS分子活性具有明显且特异的抑制作用,使可诱导共刺激分子更加稳定,半衰期延长,并能够大规模制备,是用于制备高亲和力、高生物学活性和高度生物安全性的免疫抑制产品及治疗、诊断、检测和研究自身免疫性疾病和移植排斥及其相关病症产品的安全原料,市场应用开发前景广阔。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
内外反射可切换的表面红外光谱池装置

本发明属于红外光谱技术领域,具体为一种内外反射可切换的表面红外光谱池装置。该光谱装置由内反射模式对电极或外反射模式工作电极、参比电极、外反射模式对电极、电解池、内反射模式硅半圆柱红外窗口或者外反射模式氟化钙半圆柱红外窗口组成。其中,内反射模式对电极或外反射模式工作电极、参比电极和外反射模式对电极组成三电极体系,置于电解池中,内反射模式硅红外窗口或者外反射模式氟化钙红外窗口位于电解池下部。本装置提出的表面红外光谱池系统可用于内反射模式又可用于外反射模式,转换方便。本装置可用以检测电化学实时红外光谱信号,结构简单稳定,方便易行。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
去除阻挡层和介质层中污染物颗粒的方法

本发明公开了一种去除阻挡层和介质层中污染物颗粒的方法,采用明场扫描方法BFI检测出第一阻挡层、第一介质层、第二阻挡层、第二介质层或第三阻挡层中掺杂有污染物颗粒的晶圆后,该方法包括:采用化学机械研磨工艺CMP依次去除第三阻挡层、第二介质层、第二阻挡层、第一介质层和第一阻挡层。采用该方法能够降低半导体器件的生产成本。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
N-苯基马来酰亚胺生产过程中含有机物废水的处理方法

本发明公开了一种N-苯基马来酰亚胺生产过程中含有机物废水的处理方法,首先将该含有机物的废水在20-40℃、0.1-0.15MPa条件下以10ml/分钟的速率通过装有酸性树脂的处理柱,再以相同的压力条件及速率通过装有碱性树脂的处理柱,最后将得到除去有机物的废水排入厌氧池中进行常规化处理。检测结果表明:废水中有机物的化学耗氧量CODcr为95mg/L,生化耗氧量BOD5值为25mg/L,达到石油炼制工业水污染物排放标准。本发明处理方法可应用于不同取代基团的N-苯基马来酰亚胺同类产品的废水处理,适于工业生产过程中废水的连续化处理。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于处理石蜡包埋样本的脱蜡剂及从石蜡包埋样本中提取核酸的方法

本发明属于分子生物学技术领域,公开了一种用于处理石蜡包埋样本的脱蜡剂,所述的脱蜡剂为烷烃与烯烃的混合物,所述的烷烃为长链烷烃和/或环烷烃,所述的烯烃为长链烯烃和/或环烯烃。并公开了从石蜡包埋样本中提取核酸的方法。本发明所提供的脱蜡剂无刺激性味道,毒性小,脱蜡方法简单,可实现样本脱蜡、组织裂解以及解除化学交联等步骤在同一离心管中连续进行,其连续过程中无需多次离心处理,有效减少了操作步骤。使用本发明提供的脱蜡方法进行样本预处理,从样本中提取的DNA得率高、纯度好,可用于PCR、qPCR等下游检测。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
美妆用快速干燥且易卸除水性产品及其制备方法

本发明涉及一种美妆用快速干燥且易卸除的水性产品及其制备方法,所述的一种美妆用快速干燥且易卸除的水性产品由以下组分按照以下质量份数比制备而成:高附着水性聚氨酯树脂94.8‑98.8份、水性聚氨酯分散体1‑7.8份、底材润湿及防缩孔助剂0.1份、丙二醇0.05份、苯氧乙醇0.05份;所述的高附着水性聚氨酯树脂为广州亨缌克新材料有限公司的PU3118;所述的水性聚氨酯分散体为万华化学集团股份有限公司的9235NP;所述的底材润湿及防缩孔助剂为德国迪高的Twin4200。本发明的易卸除水性产品能满足化妆品备案检测标准;可应用于皮肤上,不仅干燥速度快;而且方便撕拉剥离,容易卸除。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
稳定同位素标记R-氯丙那林及其制备方法

本发明涉及一种稳定同位素标记R‑氯丙那林及其制备方法,用有机合成方法,以稳定同位素标记氯苯为原料,经付克酰基化反应生成稳定同位素标记邻氯苯乙酮,经溴化后得到稳定同位素标记α‑溴代邻氯苯乙酮,再和稳定同位素标记异丙胺、还原剂一锅反应,得到稳定同位素标记R‑氯丙那林。与现有技术相比,本发明制备的稳定同位素标记R‑氯丙那林,化学纯度达99%以上,同位素丰度在99%以上,可用于药物氯丙那林的代谢机理研究及食品安全领域违禁兽药氯丙那林残留的检测。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
SPR生物传感器用芯片及其制备方法和应用

一种光学传感器领域的SPR生物传感器用芯片及其制备方法和应用,该芯片由下而上依次由玻璃基底、石墨烯或氧化石墨烯/高分子复合物薄膜以及蒸镀方式生成的金膜组成,其中:高分子复合物为聚丙烯酸或聚丙烯酸酯类。本发明通过在玻璃基底与金膜之间添加一层石墨烯/高分子复合物的薄膜材料,利用石墨烯比金膜更强的表面等离子共振效应来增强SPR传感器的检测灵敏度,该方法所得SPR传感器灵敏度高,制备方法简便,适用于生物、医药、化学、环境等领域的广泛应用。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
动物用可鉴别灭活疫苗的制备方法

本发明公开了一种动物用可鉴别灭活疫苗的制备方法,涉及动物疫苗技术领域,所述制备过程为采用基因工程方法、自然传代方法或化学合成方法,致使抗原物质减少了一段或多段基因,进而产生新的特征性,再将所述具有新特性的抗原物质制备成可鉴别灭活疫苗。本发明的有益效果:动物免疫接种这样的疫苗后,通过检测特征可鉴别抗体,鉴别该抗体是由处理前的抗原(即野毒)产生还是处理后抗原(疫苗毒)产生,可以区分疫苗和野毒产生的抗体,诊断动物是否感染过野毒株,从而淘汰和清除带毒动物,实现疾病净化,有利于养殖场疾病的净化。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
在毛细管内壁沉积连续金属层的方法

本发明属于微型检测装置技术领域,具体涉及一种在玻璃、硅或二氧化硅单根毛细管内壁沉积厚度可控的连续金属层的方法。具体步骤如下:先在经表面清洗与羟基化的硅、二氧化硅或玻璃毛细管内注入自组装溶液再驻留浸泡,获得一层自组装分子层,这层分子与内表面存在键合作用,从而可以较牢固地附着;然后再注入、浸泡催化剂溶液进行催化活化,使催化剂在内表面的自组装层上得到有效吸附;然后连续地注入化学镀的镀液,调节流速、温度、PH值等条件,使整个的金属层的生长得到有效的控制,获得连续均匀、厚度可调的金属层。本发明可直接在毛细管(内径范围为1~500ΜM)内壁沉积金属,可满足各种形状管道的加工要求,而且所得的金属层均匀连续、厚度可调。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
抗家畜亚洲Ⅰ型口蹄疫病毒基因工程多肽疫苗及其制备方法

本发明属于免疫学与遗传工程技术领域,具体为一种抗家畜亚洲I型口蹄疫病毒基因 工程多肽疫苗及其制备方法。本疫苗利用亚洲I型口蹄疫病毒VP1蛋白中133-163位氨基 酸这一B细胞表位,以及VP2蛋白中1-33位氨基酸的T细胞表位,用化学方法合成编码 这两种抗原表位基因组成的重复串联基因序列,将这一串联重复基因序列分别插入牛IgG 重链恒定区基因的C末端,或β-半乳糖苷酶基因的C末端构建两种表达载体,经发酵后 分别表达两种融合蛋白,超声并纯化后制备成疫苗,检测该两种疫苗的安全性及对动物的 免疫保护作用,经动物攻毒实验证明两种疫苗对豚鼠有良好的保护效果,免疫豚鼠100% 抵抗100ID50剂量的Asia I型口蹄疫病毒攻击。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
稳定性同位素氘标记异亮氨酸的合成方法

本发明涉及一种稳定性同位素氘标记异亮氨酸的合成方法,先以二苯基亚甲基氨基乙腈和氘标记卤代烷基,加入相转移催化剂,进行取代反应制得异亮氨酸中间体,所得异亮氨酸中间体再经两步水解,即得到目标产物。与现有技术相比,本发明公开的合成方法简单,安全,可靠,产品经简单分离提纯后,化学纯度,同位素丰度均在99%以上,可用于蛋白质代谢示踪、食品安全检测、新生儿代谢病筛查等领域。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
利用HIPIMS方法结合镀膜智能监控加气系统制备化合物薄膜材料的方法

本发明提供一种利用HIPIMS方法结合镀膜智能监控加气系统制备化合物薄膜材料的方法,运用高功率脉冲磁控物理气相沉积方法制备高质量化合物薄膜,利用智能监控加气系统检测真空腔体内等离子体密度与分布情况、等离子体能量以及各工艺气体的比例变化,自动调控腔体内工艺气体的加入量以及加入量的变化速度,结合HIPIMS技术溅射各类靶材,本发明方法发挥高功率磁控溅射的成膜特点,且通过引入智能监控加气系统,采用适当的工艺可制备性能优良的所需化学计量比的高质量化合物薄膜材料,解决现有的反应溅射镀膜中因靶材表面“毒化”而导致的溅射效率下降,靶材表面“毒化”打火,而成膜质量下降的问题。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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