摘要随着微电子工业的迅速发展多铁性材料成为了材料科学与工程领域的研究热点在众多铁电材料中铁酸秘BFO的应用前景是很广泛的铁酸秘不仅是个无含铅绿色环保的多铁性材料而且铁酸秘的制备温度低有大的剩余极化值但是它的制备非常困难且由于Fe3波动带来了大量氧空位因此纯相BFO薄膜样品的漏电流较大这也是一直以来困扰研究者的一个现实性问题在此我们使用了溶胶凝胶法和快速退火法分别制备了掺杂Ce2和Zn2的Bi09Ce01FeO3BCFO和BiFe09Zn01O3BFZO薄膜以及共掺杂得到Bi09Ce01Fe09Zn01O3BCFZO薄膜并使用XRD和SEM技术研究制备薄膜的微观形貌和晶体结构最后采用铁电测试仪在室温下对样品的电滞回线进行表征结果表示掺杂以后的铁酸铋基薄膜因为抑制了氧空位而且降低了漏电流所以铁电性能得到提升这项研究证明了掺杂以后的薄膜具有良好的铁电性本研究提供了提高铁电性的可行性方法以及铁酸秘薄膜为基础的多功能型应用器件的可用性