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光学检测系统及光学检测方法与流程

1843   编辑:中冶有色网   来源:日月光半导体制造股份有限公司  
2023-10-30 15:52:27
本公开涉及光学检测技术领域,具体涉及光学检测系统及光学检测方法。 背景技术: 近年来由于微纳米半导体技术、微机电制程与封装技术等持续不断地发展,带动了高科技的进步,其中光学元件的应用不但更加多样化,而且为配合光电产品的发展趋势,逐渐朝向轻薄短小与多功能化发展。相应地如何在微小系统中嵌入微小光学元件已成为关键性技术,尤其非球面透镜可以简化光学系统的构成、提高成像品质与降低成本。因此,在讲求高品质与低成本的市场要求下,非球面透镜在光电产品的应用中越来越广泛。而在透镜的制造过程中,需要对透镜进行质量检测以确保透镜的质量符合要求。 技术实现要素: 本公开提出了光学检测系统及光学检测方法。 第一方面,本公开提供了一种光学检测系统,该光学检测系统包括:第一光源、分光镜、第二光源、待测光学器件、第一相机、第二相机以及分别电连接所述第一相机和所述第二相机的计算设备,其中: 所述第一相机设置于所述待测光学器件的第一侧; 所述第一光源、所述分光镜、所述第二光源和所述第二相机分别设置于待测光学器件的第二侧; 所述分光镜设置于所述第一光源和所述待测光学器件之间,所述第一光源发射的光线穿透所述分光镜和所述待测光学器件后由所述第一相机接收并形成透射图像后发送至所述计算设备; 所述第二光源设置于所述分光镜和所述待测光学器件之间,所述第二光源朝向所述待测光学器件发射的光线由所述待测光学器件反射后经由所述分光镜而被所述第二相机接收并形成反射图像后发送至所述计算设备; 所述计算设备用于基于所述透射图像与预设参考透射图像的差异生成透射检测结果,以及基于所述反射图像与预设参考反射图像的差异生成表面检测结果。 在一些可选的实施方式中,所述第一光源为激光光源。 在一些可选的实施方式中,所述第二光源为白光光源。 在一些可选的实施方式中,所述第二光源为中空白光光源。 在一些可选的实施方式中,所述光学检测系统还包括至少一个准直镜,所述至少一个准直镜设置于所述待测光学器件和所述第一相机之间,用于汇聚由所述待测光学器件透射的光线。 在一些可选的实施方式中,所述第一相机和所述第二相机为电荷耦合器件ccd相机。 在一些可选的实施方式中,所述光学检测系统还包括设置有至少两个所述待测光学器件的转轮,所述转轮与所述计算设备通信连接。 在一些可选的实施方式中,所述光线检测系统还包括:转盘,所述待测
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