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抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪

1088   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:41
本发明公开了一种抗高过载的双质量块音叉角速率陀螺仪，通过合理的止档结构设计，限制驱动模态方向和检测模态方向的位移，防止机械结构在过大的冲击作用下发生破坏，并且通过对质量块连接结构的改进设计进一步提高结构面外的刚度，增加结构面外的抗冲击能力，从而实现了陀螺在三个方向上都具有一定的抗高过载能力。所述陀螺仪的结构增加了梳齿宽度、减小了梳齿长度、增加了梳齿间隙以及两端对称布置梳齿对等优化设计，避免由于高过载作用引起的梳齿断裂和粘附失效。所述陀螺仪的止档结构合理利用陀螺机械结构外的单晶硅圆片设计的，经济合理，且与机械结构一同刻蚀加工，降低了具有抗高过载能力的微机械陀螺的加工难度。
声明：
“抗高过载的双质量块音叉式角速率陀螺仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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