本实用新型公开了一种效能侦测装置,包括速率侦测装置和位移侦测装置,速率侦测装置包括速率传感器和发光二极管,位移侦测装置包括第一位移传感器和第二位移传感器;速率侦测装置位于固定盘和抛光垫整修器的侧面,并对准抛光垫整修器;位移侦测装置位于固定盘的上方,并对准固定盘和抛光垫。本实用新型的优点和有益效果在于:实现了及时发现抛光垫整修器及整修装备的故障或失效,减少抛光垫整修器作虚功,提高生产效率的效果;以及起到了精确掌控抛光垫整修器运转情况及效能,和提早侦错并及时发现问题及了解效能衰退幅度,减少停机检查维修的频率,提高生产效率的作用。
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