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半导体芯片测试探针卡及测试系统和测试方法

1056   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:11
本发明公开了一种半导体芯片测试探针卡，该探针卡上制造有同一晶圆上所有类型芯片电学测试所需要的探针。本发明还公开了一种利用上述探针卡的半导体芯片测试系统，通过探针卡连接测试被测芯片，将测试结果记录为不同种类的失效信息，根据失效信息的种类将失效信息输出至对应的存储服务器。本发明还公开了一种利用上述探针卡的半导体芯片测试方法。本发明的测试系统和测试方法降低了探针卡制卡成本，避免多次制造探针卡，总体生产成本降低，并且一个多合一探针卡对应一个晶圆上的所有芯片，便于探针卡的管理。本发明能一次完成多个芯片的全流程测试，提高了测试效率。
声明：
“半导体芯片测试探针卡及测试系统和测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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