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失效点定位方法

796   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:38
本发明的一种失效点定位方法，包括：在硅衬底上选取测试结构区域；在测试结构区域中形成互连层结构，该互连层结构的上、下方不设置伪金属结构；选取该互连层结构作为测试结构，采用光诱导电阻变化技术对该测试结构进行失效点定位；其中，互连层结构的形成方法包括：设计光刻版图案，测试结构区域中的互连层结构图案上、下方不设置伪金属结构的图案；在硅衬底上形成介质层；利用光刻版为模版，经光刻和刻蚀，在介质层中形成互连层结构，互连层结构上、下方不具有伪金属结构。本发明的方法，去除了伪金属对激光束的阻碍，激光束可以直接照射到测试结构上，仪器能够接收到准确的反馈信号，从而提高了失效点定位准确率。
声明：
“失效点定位方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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