本实用新型是一种利用表面吸附效应,无损检测 材料光滑、超光滑表面显微粗糙度、表面附着物、亚表 面损伤和应力缺陷的表面测试装置。它主要由密封 罩、产生饱和蒸汽的储液槽、均热工作台、致冷器、湿 度计、测温探头、显微镜和照相或记录装置构成。使 用时,样品在饱和蒸汽气氛下冷却结露或霜,然后据 此测试对应的表面形貌、附着物和亚表面缺陷等状 态。是一种重复性好,可对比,又能迅速获得测试结 果的表面和亚表面在线测量装置。
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