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曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法

823   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:06
本发明公开了一种曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法。该曲面胶厚检测装置包括激光发射器、导轨、分光棱镜、第一光功率计、第二光功率计和透镜,分光棱镜设置于导轨上,激光发射器发出的光线照射在分光棱镜上,经过分光棱镜后的透射光线照射在第一光功率计上,经过分光棱镜后的反射光线照射在透镜上,经过透镜的光线沿被检样品的胶层曲面球心方向入射,光线在被检胶层曲面反射后沿入射光路返回,依次经过透镜和分光棱镜后照射在第二光功率计上。本发明可实现无损地对曲面基底上的光刻胶厚度及分布进行逐点测量。
声明：
“曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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