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介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其制造方法

791   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:30:15
本发明公开了一种介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其制造方法。该介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片自下至上依次包括石英衬底、SiO2+TiO2双层光栅结构和微流通道，其中所述微流通道是扣置键合于该SiO2+TiO2双层光栅结构之上。本发明提供的这种介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其制造方法，实现了器件体积的微型化，节约了化学试剂；通过光栅的波长选择性反射，采用LED白光光源，就可以实现宽波长照明单波长反射功能，同时改变光栅结构参数就可以实现不同波长反射，由于光吸收传感测试精度与光谱宽度有关，因此通过测量单波长反射信号进行吸光度测量有利于提高传感芯片的灵敏度。
声明：
“介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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