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生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法

982   编辑:管理员   来源:中冶有色网  
2023-03-19 08:28:33
本发明公开了一种生产大尺寸、高均匀性合成石英玻璃砣的方法,该方法采用化学气相沉积工艺,即向多个燃烧器中通入氢气和氧气,氢气和氧气在燃烧器中燃烧进而对沉积炉炉腔进行预热;预热完成后,将沉积炉内石英基板的温度升高至指定温度,同时启动温度探测器使其开始工作;通过每个燃烧器的下料管向沉积炉内通入气态含硅化合物,氢气和氧气在燃烧器中燃烧产生水蒸汽,该水蒸汽与气态含硅化合物在沉积炉内反应生成二氧化硅颗粒;二氧化硅颗粒在转动的石英基板上逐渐沉积形成石英玻璃坨,且所述温度探测器动态监测二氧化硅颗粒沉积面的温度分布;本发明通过增加燃烧器及沉积面温度测试保证沉积面温度的均匀性,从而保证石英玻璃的结构均匀性。
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