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氮化物半导体材料除氢激活提升p型导电性的方法

791   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:14:36
一种氮化物半导体材料除氢激活提升p型导电性的方法,涉及III族氮化物半导体材料。设计三电极电化学处理装置;将p型掺杂的半导体晶片密封至容器底部,作为工作电极;设置辅助电极和参比电极,与工作电极构成电化学三电极系统;选择除氢电解液,加入容器中,并淹没三电极;于工作电极和辅助电极之间施加直流偏压,进行除H并激活p型杂质;激活处理完毕,取出p型半导体晶片,进行去离子水超声清洗;利用电学装置测试晶片的电学性质。操作简便、无需高温退火,可制备出具有良好导电特性的p型GaN和AlGaN材料,并且可对完整结构器件晶圆片做后期处理,在可见光、紫外、深紫外的LED、LD、探测器等光电子领域中有着广泛的应用。
声明:
“氮化物半导体材料除氢激活提升p型导电性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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