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可调谐三角形金属纳米粒子阵列结构的制作方法

680   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:57:09
一种可调谐三角形金属纳米粒子阵列结构的制作方法,步骤:(1)根据透射波长的需要选择合适型号的基底,对基底进行清洗、亲水化处理;(2)在基底表面均匀的自组装一层纳米球;(3)采用反应离子刻蚀机RIE工艺对制作的纳米球自组装层进行刻蚀,改变纳米球的间隙的尺寸大小;(4)利用刻蚀后的纳米球自组装作为模具,在球与球之间的间隙处填充金属;(5)通过Lift?off工艺去除纳米球自组装层,得到阵列化的金属纳米结构芯片。本发明制作的金属纳米结构芯片的光学性质可控,可应用于局域表面等离子体共振(LSPR)传感、表面增强拉曼光谱(SERS)探测领域,实现生物、化学分子的快速检测。
声明：
“可调谐三角形金属纳米粒子阵列结构的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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