本发明公开了一种真空紫外光催化反应器、废水处理装置与处理方法,真空紫外光催化反应器可通过真空紫外光催化和化学氧化协同产生的·OH处理废水,能在常温下大幅降低废水的COD值;废水处理装置包括与废水池依次连接的混合器、主催化反应器、真空紫外光催化反应器和气液分离器,其中,所述气液分离器的气体出口连接废水回收池,液体出口连接COD在线检测系统,该COD在线检测系统将检测达标的处理废水通过回收管路与废水回收池连通,将检测不达标的处理废水通过循环管路与混合器连通再次进行处理,同时,所述混合器还与双氧水箱连接;该废水处理装置结构合理,能够较好地降解高盐、高毒、高COD废水,快速高效,无二次污染。
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