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光罩回收处理方法

966   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:29
本发明涉及一种去除金属铬膜后的光罩(PHOTO MASK)回收处理方法,其处理程序是将回收后含有金属铬膜的光罩经过溶蚀去除光罩上的金属铬膜,并将光罩进行洗净烘干,再行检测其光罩表面状态,研磨并去除光罩表面可能残留的化学成份及异物,之后将经过研磨后的光罩洗净烘干,最后检验符合标准。经过这些工艺步骤后,可使回收后的光罩再生成为具利用价值的产品。
声明：
“光罩回收处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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