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微波发生器以及合成金刚石材料的制造

1137   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:28
一种用于在微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)系统中使用的微波发生器系统，微波发生器系统包括：微波发生器单元，被配置为以适合于经由化学气相沉积处理制造合成金刚石材料的操作功率输出产生微波；故障检测系统，被配置为检测微波发生器单元中导致操作功率输出的减少或者频率的改变的故障；以及重新启动系统，被配置为响应检测到故障而重新启动微波发生器单元并且在微波发生器单元中导致操作功率输出的减少或者频率的改变的故障之后少于10秒的时间段内，恢复操作功率输出或者频率。
声明：
“微波发生器以及合成金刚石材料的制造” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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