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具有直流电极的薄膜体声波谐振生化传感器

912   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:32:26
本发明公开了一种具有直流电极的薄膜体声波谐振生化传感器。包括直流电极、压电薄膜堆栈、声波反射层堆栈和化学敏感涂层。传感器利用设置于化学敏感涂层两侧的直流电极测量需检测物质物与化学敏感涂层吸附或反应后电阻的变化，同时在压电薄膜堆栈的射频上下电极之间施加射频电信号，激发压电薄膜的体声波谐振，测量需检测物质物与化学敏感涂层的频率变化。由于传感器同时提供电阻变化信息和频率变化信息，因此可以利用电阻变化来分辨频率变化相同的不同需检测物质，提高了薄膜体声波谐振生化传感器对复杂多组分检测物的识别能力。
声明：
“具有直流电极的薄膜体声波谐振生化传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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