提供了集成靶点波导器件和包括该器件的光学分析系统。靶点器件包括光耦合器,其光耦合到集成波导并且被配置为通过自由空间,特别是通过低数值孔径接口接收来自光源的光输入。该器件和系统可用于大量、高密度的高度多路复用光学反应的分析,包括诸如核酸测序反应的生物化学反应。该器件提供了光激发能量从光源到光学反应的高效且可靠的耦合。因此可以以高灵敏度和分辨率来测量从反应中发出的光信号。这些器件和系统非常适合小型化和高通量。
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