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行星转动镀膜装置的均匀性模拟和测试方法

682   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:48
本发明涉及光学镀膜技术领域，尤其是一种行星转动镀膜装置的均匀性模拟和测试方法，该方法在已知蒸发源和行星夹具结构的条件下，可实现对真空镀膜均匀性的准确模拟，以及对镀膜均匀性的快速优化。将蒸发源视作具有一定倾斜角度的大口径平面靶，膜料通过物理或化学气相沉积，在平面行星夹具的基底材料表面形成薄膜，首先测试夹具在任一高度下的镀膜均匀性，再通过模拟计算来确定蒸发源的蒸发特性，进而以模拟方法来确定出夹具的最佳位置，最后按模拟的最佳位置对均匀性进行第二次实际测试。该方法避免了在镀膜均匀性测试过程中反复多次调节结构位置，仅需根据模拟和计算，便能确定镀膜均匀性的最佳位置，具有简便快捷、操作性强的优点。
声明：
“行星转动镀膜装置的均匀性模拟和测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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