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氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法

884   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:46
本发明公开了一种氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法，属于光电探测器件制造技术领域。该激光探测器包括衬底和沉积在衬底上的氧化钛薄膜，所述氧化钛薄膜为四方金红石型晶体结构，厚度为200~300nm，厚度延伸方向与衬底的倾斜方向的夹角为5~15°。本发明可以有效地避免紫外强激光对化学键的选择破坏而造成的优先溅射问题。其制备方法可生长得到致密且结晶度良好的氧化钛薄膜，制备的激光探测器具有探测波段宽，响应速度快，灵敏度高的优点，并且能抗紫外强激光辐照。
声明：
“氧化钛薄膜激光探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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