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锌镓氧紫外探测器及其制备方法

950   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:47
本发明提供了一种ZnGa2O4紫外探测器，包括依次复合而成的衬底、ZnGa2O4薄膜以及金属叉指电极；所述ZnGa2O4薄膜以有机锌化合物作为锌源，有机镓化合物作为镓源，以高纯氧气为氧源，利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底表面沉积得到。本发明使用金属有机化合物化学气相沉积法制备ZnGa2O4薄膜，通过增加氧气流量，增加氧分压，减少氧缺陷，使制备得到的ZnGa2O4薄膜层具有结晶质量高，不出现分相，吸收截止边陡峭等特点，进而使包含ZnGa2O4薄膜层的紫外探测器具有较低的暗电流，较高的响应度。
声明：
“锌镓氧紫外探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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