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基于二硒化钨的自驱动光电探测器及其制备方法

604   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:46
本发明公开了一种基于二硒化钨的自驱动光电探测器及其制备方法，属于二维半导体光电探测器的设计和制备技术领域。所述的探测器材料为化学气相沉积法生长的大面积二硒化钨单层，利用探针将二维半导体刻画成非对称沟道，致使器件可以在零偏压下工作，降低了功耗，进而制备无需源漏电压即可工作的自驱动型光电探测器。本发明公开的基于二硒化钨的自驱动光电探测器的制备方法简单，易于操作，并且很容易推广到其他化学气相沉积法获得的材料；采用干法转移技术将两个电极转移到沟道材料表面，避免光刻工艺对材料产生破坏，减弱费米钉扎效应，使器件具有良好的栅控特性。
声明：
“基于二硒化钨的自驱动光电探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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