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微条气体室探测器复合基板的制造方法

810   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:46
本发明涉及一种微条气体室探测器复合基板的制造方法,它是采用射频等离子体辅助化学气相沉积法由D263玻璃上沉积类金刚石膜而制成。对光学玻璃D263预处理,放入高真空反应室中沉积,然后在氮气气氛炉中退火处理而制得复合基板。本发明通过施加偏压、增加磁场和退火处理来获得高质量类金刚石膜/D263玻璃复合基板,可克服薄膜与衬底应力大、结合力差等问题,使探测器电荷积累效应小和基板稳定性好。本发明制作工艺简单、制作周期快、成本低廉和实用性强。
声明：
“微条气体室探测器复合基板的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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