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碲锌镉像素探测器电极的钝化方法

656   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:57
本发明公开了一种碲锌镉像素探测器电极的钝化方法,用于对碲锌镉像素探测器电极进行钝化,降低漏电流。所述方法首先采用CdZnTe晶体,进行线切割,研磨、机械抛光、清洗后在2%Br-MeOH中化学抛光,得到待用的CdZnTe晶片。然后将经机械抛光和化学抛光的CdZnTe晶片通过清洗、涂胶、烘干、曝光、显影、真空蒸镀电极和剥离等工艺,制备出像素探测器电极;然后放入RIE-3型反应离子刻蚀机中抽真空,真空度为0.3333～0.3999Pa;调节氧气流量为70～80cm3/min;调节工作气压为0.5～1.0Pa;调节射频功率为8～12W;刻蚀时间为35～50min。通过上述步骤CdZnTe像素探测器电极间的CdZnTe表面生成致密氧化物薄膜,漏电流减小了一个数量级,达到了钝化目的。?
声明：
“碲锌镉像素探测器电极的钝化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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