本发明公开了一种纳米微区阻抗原位测量技术,包括上位计算机PC、数据I/O通道、交流阻抗仪、原子力显微镜和机械耦合模块,所述上位计算机PC与数据I/O通道连接,且数据I/O通道分别与交流阻抗仪和原子力显微镜连接,所述交流阻抗仪和原子力显微镜通过机械耦合模块进行机械耦合,且交流阻抗仪包括微欧计、锁相放大器和阻抗电路,所述微欧计和锁相放大器均与数据I/O通道连接,且微欧计和锁相放大器均与阻抗电路连接,所述微欧计与锁相放大器连接。本发明可在观察样品表面形貌和结构变化的同时,在微纳米尺度上进行精确定位的
电化学检测,实现材料结构、电子和离子输运特性的实时原位测量。
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