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鼠笼式氦质谱真空检漏仪离子源

775   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:23:23
一种鼠笼式氦质谱检漏仪的离子源,其中阳极5是由钼片经化学刻蚀后形成蜂窝状的网格,成圆筒状,阳极顶部与镍环6焊接,阳极的底部与圆片3焊接,最后与阳极支架点,其中网格丝的宽度是0.1MM,厚度为0.05MM,每个网格的距离1MM,阳极的外侧还具有灯丝4,灯丝4成圆形,灯丝4是氧化钇铱金灯丝,灯丝直径是0.08MM,绕制成圆形,圆周直径是14MM。
声明:
“鼠笼式氦质谱真空检漏仪离子源” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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