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检验基板的处理方法及处理装置

641   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:22:38
本发明提供一种检验基板的处理方法及处理装置。处理方法包括：在检验基板上设置牺牲膜层；利用等离子体增强化学气相沉积法在所述牺牲膜层上形成检验膜层；在对所述检验膜层的形成状况进行检验后，从所述检验基板上去除所述牺牲膜层，从而使得所述检验膜层与所述检验基板分离；回收所述检验基板。本发明的方案先在检验基板上沉积出易于与检验基板分离的牺牲膜层，之后再使用离子体增强化学气相沉积法制作出用于检验化学气象沉积工艺的检验膜层，在验证完成后，只需要将牺牲膜层与检验基板分离，即可重新回收干净的检验基板，使得检验基板可以在下次检验中继续使用，从而节约了制作成本，因此具有很高的实用价值。
声明：
“检验基板的处理方法及处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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