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表面清洁度测试装置和测试方法

971   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:20:09
本发明公开了一种表面清洁度测试装置和测试方法，属于半导体及晶圆、OLED等高精密加工领域的技术领域。它包括背景光源、同向光源、支架、同轴环形光源、棱镜、棱镜固定支架、液滴、被测试样品和成像系统，棱镜通过顶丝固定螺丝固定到棱镜固定支架上。通过顶视、侧视多视角的同一图像中成像，实现了UV分析、红外分析、表面结构分析、3D接触角分析的有效组合测量，对于评估固体材料的物理化学性质，特别是对于客观存在的表面粗糙度、化学多样性和表面结构导致的表面清洁度误判的解决，提高表面清洁度测试的精度和可靠性，均具有极大提升，在半导体、晶圆、硅片、新材料研究、仿生材料等行业具有非常高的作用，具有极高的推广价值。
声明：
“表面清洁度测试装置和测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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