本申请公开了一种石英坩埚无损检测装置,包括光源、镇流触发器和盖板,其中,所述光源与所述镇流触发器相连接;所述盖板的形状与石英坩埚的形状相匹配,所述盖板的面积大于或等于所述石英坩埚的开口的面积;所述光源和所述镇流触发器设置于所述盖板的中心部,且所述镇流触发器设置于所述盖板的上表面以上,所述光源设置于所述盖板的下表面以下。利用该装置对石英坩埚进行内部结构缺陷检测时,避免了涂抹显影液等化学试剂带来的杂质污染和效率低下的问题,还能准确的发现石英坩埚中的内部结构缺陷,因此能够使得石英坩埚的检测快速、准确且无污染。
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