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检测基片转速装置

1000   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:19:33
一种检测基片转速装置,包括驱动组件,主动轮组件,从动轮组件,转速轮组件及转速测量传感器。主动轮组件和从动轮组件用于支撑基片及驱动基片旋转,转速测量传感器用于测量转速轮组件旋转速度。本实用新型通过比较驱动组件旋转速度与转速轮组件旋转速度,对基片旋转作出检测,同时对碾磨、化学机械抛光、清洗装置的工作状况进行监测,从而提高设备的生产效率和基片的成品率。
声明：
“检测基片转速装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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